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SAMCO INC RIE-10NR Dry Etcher - VERKAUFT

Freiverkauf
Hersteller und Modell: SAMCO INC RIE-10NR
Positionsnummer: 375 | Objekt ID: smi82873 | Inventarnummer: EU044833
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Beschreibung: Tool code PDR02 For configuration sheet Click HEREConfiguration
SAMPLE SPECIFICATION
Sample Size 8”
Sample Shape Wafer
SYSTEM CONFIGURATION
Spec.(based on a catalog) RF : Max = 300W with 13.56MHz
Options Nothing
Pump Turbo Molecular pump,
Number of gas lines 3
Available gases O2、CF4、CHF3
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
Anzahl: Verfügbarkeitsanfrage
Seriennummer: 28A2241
Baujahr: 2007
Standort: Nishiwaki, Japan
Besichtigung: Nach vorheriger Vereinbarung
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Informationen zu diesem Event
Kontaktdaten
Kontakt: Andy Hackett
Land: Großbritannien
Telefon: +44 (0)7764 308 689
Kontakt: Eric Zhang
Telefon: +86 21 62726246 801
Telefon 2: +86 139 1795 6751
Kontakt: Yusuke Uchiyama
Telefon: +81 (0)904 422 9392
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