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TEL Clean Track MARK8Z Coater / Developer - VERKAUFT

Freiverkauf
Hersteller und Modell: TEL Clean Track MARK8Z
Positionsnummer: 50 | Objekt ID: smi82672 | Inventarnummer: EU313848
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Beschreibung: Tool code DEVP3 For configuration sheet Click HEREConfiguration
Process PI&RESIST STRIP
WAFER SPECIFICATION
Wafer Size 200MM
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8” PP Miraial
SYSTEM CONFIGURATION
Process Block 1
DEVE head# 2
Chemical Box (Solvent) 1
Carrier Station
Stage 1×4 Side Loading (Sender /Receiver or Uni - cassette)
DEVE
Nozzle Air atomizing nozzle(N2)
Develop solution supply Multi
Developer Cup PP+PPS with Mist trap
Spin chuck PEEK
Rinse Nozzle Flow meter Max range 1.2L/min with flow sensor
Back Rinse Flow meter Max range 150cc/min
Drain Central
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
Anzahl: Verfügbarkeitsanfrage
Seriennummer: 816862
Baujahr: 1996
Standort: Nishiwaki, Japan
Besichtigung: Nach vorheriger Vereinbarung
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Informationen zu diesem Event
Kontaktdaten
Kontakt: Andy Hackett
Land: Großbritannien
Telefon: +44 (0)7764 308 689
Kontakt: Eric Zhang
Telefon: +86 21 62726246 801
Telefon 2: +86 139 1795 6751
Kontakt: Yusuke Uchiyama
Telefon: +81 (0)904 422 9392
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