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Koyo Thermo System VF-5100B Vertical Diffusion Furnace - SOLD LOT

Vendita con accordo privato
Marche e modelli: Koyo Thermo System VF-5100B
Incluso nella seguente vendita: 200mm Wafer Fabrication Tools
Numero lotto: 213 | ID articolo: smi82715 | ID inventario: EU313890
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Descrizione: Tool code LPCE4 For configuration sheet Click HEREConfiguration
Wafer Size 200MM
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8" Plastic Miraial
GAS BOX 1 N2
GAS BOX 2 O2
Heater Zone 3 Zone
Control Thermocouple Paddle
Max Temperature 800 C
Place of control within inner tube
PUMP none
pressure control Buttafly valve
Type for pressure control STEC EC-5104
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
Quantità: Contatta per disponibilità
Numero di serie: Q1510-1890
Data di produzione: 1996
Località: Nishiwaki, Japan
Ispezione: su appuntamento
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Information on This Event
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Contatto: Eric Zhang
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Contatto: Yusuke Uchiyama
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