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Sokudo Co Ltd RF-310A Three Coater / Five Developer (W/Stepper If) - SOLD LOT

Vendita con accordo privato
Marche e modelli: Sokudo Co Ltd RF-310A
Incluso nella seguente vendita: 200mm Wafer Fabrication Tools
Numero lotto: 39 | ID articolo: smi83040 | ID inventario: EU313702
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Descrizione: Tool code CD68 For configuration sheet Click HEREConfiguration :
Process COAT/DEVE
WAFER SPECIFICATION
Wafer Size 200MM
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8” PP Miraial
SYSTEM CONFIGURATION
Process Block # 2
Coater head # 3
Develop head # 5
Adhesion Chamber # 3
Cooling Plate # 6
Rapid Hot Plate(FRHP) # 16
Carrier Station
Stage 1×4 Side Loading (Sender /Receiver)
Coater
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
Nozzle # 7
Developer
Nozzle
Slit Scan Nozzle
Quantità: Contatta per disponibilità
Numero di serie: T00505226A
Data di produzione: 2007
Località: Nishiwaki, Japan
Ispezione: su appuntamento
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Information on This Event
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Telefono: +44 (0)7764 308 689
Contatto: Eric Zhang
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