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TEL Clean Track MARK8 Developer - 売却ロット

個別交渉販売
製造メーカーとモデル: TEL Clean Track MARK8
ロットナンバー: 48 | 商品ID: smi82732 | 資産ID: EU313828
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説明: Tool code PAT22 For configuration sheet Click HEREConfiguration
Process Developer
WAFER SPECIFICATION
Wafer Size 200MM
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8” PP Miraial
SYSTEM CONFIGURATION
Process Block 2
Coater head# 2
Develop head# 2
Adhesion Chamber# 1
Hot Plate# 7
DHP (High Temp) 2
Cooling Plate# 7
WDS(Cup wash disc) 1
WEE# 1
IFB 1
Chemical Box (HMDS/Solvent) 1
Cup T&H Control No
Carrier Station Stage 1×4 Side Loading (Sender /Receiver or Uni - cassette)
Coater
Nozzle# 4
Resist temperature Control Single
Coater Cup PP with Mist trap
Spin chuck PEEK
Resist Pump RRC Pump
Back rinse Flow meter Max range 150cc/min with flow sensor
Solvent Bath Flow meter Max range 50cc/min
EBR Flow meter Max range 20cc/min
Drain Central
Motor Flange temp control 1
Solvent Supply Central supply
Developer
Nozzle E Square Nozzle
Nozzle# 2
Develop solution supply Central supply
Developer Cup PRP-P + PPS with Mist trap
Spin chuck PEEK
E Square Nozzle Flow meter Max range 1.2l/min with flow sensor
Rinse Nozzle Flow meter Max range 1.2l/min with flow sensor
Back Rinse Flow meter Max range 150cc/min
Develop temperature control 15-50deg by 0.1deg pitch
Drain Central
Motor Flange temp control 1
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
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シリアルナンバー: MD-826670
製造年月日: 1996
商品所在地: Nishiwaki, Japan
商品の下見: 事前予約制
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このイベント情報
連絡先情報
お問い合わせ先: Andy Hackett
国名: 英国
電話番号: +44 (0)7764 308 689
お問い合わせ先: Eric Zhang
国名: 中国
電話番号: +86 21 62726246 801
電話番号 2: +86 139 1795 6751
お問い合わせ先: Yusuke Uchiyama
国名: 日本
電話番号: +81 (0)904 422 9392
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