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TEL Clean Track MARK8Z Coater - 売却ロット

個別交渉販売
製造メーカーとモデル: TEL Clean Track MARK8Z
ロットナンバー: 49 | 商品ID: smi83012 | 資産ID: EU313849
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説明: Tool code COTP3 For configuration sheet Click HEREConfiguration
Process PIX COAT
WAFER SPECIFICATION
Wafer Size 200MM
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8” PP Miraial
SYSTEM CONFIGURATION
Process Block 1
Coater head# 2
DHP (High Temp) 3
Hot Plate# 5
Cooling Plate# 2
Chemical Box (Solvent) 1
SYSTEM CONFIGURATION
Process Block 1
Coater head# 2
DHP (High Temp) 3
Hot Plate# 5
Cooling Plate# 2
Chemical Box (Solvent) 1
Carrier Station
Stage 1×4 Side Loading (Sender /Receiver or Uni - cassette)
Coater
Nozzle# 2
Resist temperature Control Multi
Coater Cup PP+PPS with Mist trap
1/2
Spin chuck PEEK
Resist Pump ENCOMPASS
Back rinse Flow meter Max range 150cc/min with flow sensor
Solvent Bath Flow meter Max range 50cc/min
EBR Flow meter Max range 20cc/min
Drain Central
Motor Flange temp control 1
Solvent solution supply Central supply
Dehydration HP
Method Proximity bake with 0.2mm
Hot plate 30-350deg by 1.0deg pitch
Hot Plate
Method Proximity bake with 0.1mm
Hot plate 30-179.9deg by 0.1deg pitch
Cooling Plate
Method Proximity cooling with 0.2mm
Cooling plate 15-35deg by 0.1deg pitch
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
数量: 購入に関するお問い合わせ
シリアルナンバー: 816863
製造年月日: 1996
商品所在地: Nishiwaki, Japan
商品の下見: 事前予約制
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このイベント情報
連絡先情報
お問い合わせ先: Andy Hackett
国名: 英国
電話番号: +44 (0)7764 308 689
お問い合わせ先: Eric Zhang
国名: 中国
電話番号: +86 21 62726246 801
電話番号 2: +86 139 1795 6751
お問い合わせ先: Yusuke Uchiyama
国名: 日本
電話番号: +81 (0)904 422 9392
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