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Applied Materials ENDURA 5500 PVD - 세부품목 판매

약정매매
제조사 및 모델: Applied Materials ENDURA 5500
로트 번호: 21 | 자산 ID : smi82697 | 재고 ID:: EU313688
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설명: Tool code SPT07 For configuration sheet Click HEREConfiguration
Process CH-1・・・W、CH-2・・・WN、CH-3・・・MMTI
WAFER SPECIFICATION
Wafer Size 200MM
Wafer Shape SNNF
Wafer Cassette 8” PEEK Miraial
WAFER TRANSFER
Load Lock A/B Type Narrow automated tilt out
Transfer Robot Type HP
Transfer Robot Blade Metal
Buffer Robot Type HP
Buffer Robot Blade Metal
Buffer Cryo Type On-Board 8F(Normal)
Transfer Cryo Type On-Board 8F(Normal)
SYSTEM CONFIGURATION
Chamber A COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber B COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber E Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber F Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber 1 Wide Body
Chamber 2 Wide Body
Chamber 3 Wide Body
CHAMBER 1
Heater Type A101
Magnet DURA
Power Supply (kw) MDX-L12-650
Cryo Type On-Board 8F(Enhanced)
CHAMBER 2
Heater Type A101
Magnet DURA
Power Supply (kw) MDX-L12-650
Cryo Type On-Board 8F(Normal)
CHAMBER 3
Heater Type B101
Magnet DURA
Power Supply (kw) MDX-L12
Wafer Bias CX-600
RF Coil Power AE HFV8000
Cryo Type On-Board 8F(Enhanced)
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
수량: 잔여물량 문의
일련 번호: 3291
제조일자: 1993
위치: Nishiwaki, Japan
미리 보기 점검 : 이전 예약 기준
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이벤트 정보
세부 정보
연락처: Andy Hackett
국가: 영국
전화: +44 (0)7764 308 689
연락처: Eric Zhang
국가: 중국
전화: +86 21 62726246 801
전화 2: +86 139 1795 6751
연락처: Yusuke Uchiyama
국가: 일본
전화: +81 (0)904 422 9392
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