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Canon FPA-5500iZ+ I-Line Stepper 365Nm - 세부품목 판매

약정매매
제조사 및 모델: Canon FPA-5500iZ+
로트 번호: 6 | 자산 ID : smi82977 | 재고 ID:: EU313610
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설명: Tool code PAT53 For configuration sheet Click HEREi-line Stepper, Lens NA 0.57 MAX, Local
Configuration :
WAFER SPECIFICATION : Wafer Size : , Wafer Shape : , Wafer Cassette :
SMIF Interface : No
SYSTEM CONFIGURATION :
Projection Lens / Illumination System :
Magnification : 1/4
NA : 0.45 ~ 0.57
Field Size : 26 x 33mm
Illumination σ(Conventional) : 0.75~0.40 (at NA=0.57)
Illumination σ(Annular) : NA0.57 Outerσ0.75 Inner σ 0.50
Light Source : i-line(365nm)
Reticle Blind Setting Area : Max : Field size, Min : 0.4 x 0.4mm
Reticle Alignment : Alignment sensor : Image processing method
Reticle Stage : Reticle Holder size : 6inch, Interferrometer : 3 axis
Wafer Alignment : Alignment sensor : Image processing method, Alignment Light Source : 590±60nm (wavelength selectable)
Wafer Stage : Wafer Holder size : 200mm, Interferrometer : 6 axis
Wafer Feeder : Pre-alignment : Edge detection system (non-contact), Chuck maintenance : Auto Chuck Clean & Load/Unload System, Inline Type : Local
Reticle Changer : Library# : 29, Reticle Case Type : Canon Type, Particle checker : Pellicle Particle Checker(PPC)
Note the above information is for guidance only and was the tools original configuration. Changes to configuration might have been made
수량: 잔여물량 문의
일련 번호: 3127779
제조일자: 2003
위치: Nishiwaki, Japan
미리 보기 점검 : 이전 예약 기준
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이벤트 정보
세부 정보
연락처: Andy Hackett
국가: 영국
전화: +44 (0)7764 308 689
연락처: Eric Zhang
국가: 중국
전화: +86 21 62726246 801
전화 2: +86 139 1795 6751
연락처: Yusuke Uchiyama
국가: 일본
전화: +81 (0)904 422 9392
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