ปิด xขอต้อนรับสู่ GoIndustry DoveBid. คลิกที่นี่เพื่อลงทะเบียนและดำเนินการต่อ >>

Applied Materials Centura 5200 Four Chamber Etch - SOLD LOT

การขายอสังหาริมทรัพย์ส่วนตัว
ยี่ห้อ และ รุ่น: Applied Materials Centura 5200
ส่วนของการขาย บางส่วนของการขาย: 200mm Wafer Fabrication Tools
รายการที่: 101 | รหัสสินทรัพย์: smi82961 | ID สินค้าคงคลัง: EU313797
This item has been sold.
However, we may have more of these for sale.
Use advance search or browse our upcoming auction calendar to find alternatives. Or subscribe to alerts so we can keep you informed about similar items in the future.
คำอธิบาย: Tool code AMP16 For configuration sheet Click HEREConfiguration :
CASS NEST PLASTIC 8"
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
SMIF Interface NO
W afer size 200mm
System Information
platform type Centura
process chamber qty 4
SECS/ GEM yes
Chamber Location / Type / Current process, position A MxP / Oxide etch, position B MxP / Oxide etch, position C MxP / Oxide etch, position D MxP / Oxide etch, position E none, position F Orienter (Laser assy not available)
ETCH Chamber
chamber type MxP
generator model ADTEC AX-1000â…¡
endpoint type Stand alone (endpoint system not available)
monochrometer qty each per chamber (no fiber cable)
Gas Panel
manual valve yes on each line, transducer yes on each line, transducer displays yes on each line, regulator yes on each line, filter yes on each line, gas panel facilities Hook Up single line drop bottom feed (Left side)
Exhaust Top
Gas panel door interlock Yes, Gas panel exhaust interlock Yes
Gas Panel Pallet
corrosive gas line qty 2 lines per chamber, inert gas line qty 6 lines per chamber, MFC type STEC SEC-7440MC
Gas line (gas name, MFC size)
ChA : line 1 CL2/ 60/ SEC-7440, line 2 CHF3/ 70/ SEC-7440, line 3 O2/ 50/ SEC-7440, line 4 CF4/ 100/ SEC-7440, line 5 Ar/ 100/ SEC-7440, line 6 N2/ 70/ SEC-7440, line 7 none, line 8 none
ChB : line 1 CL2/ 60/ SEC-7440, line 2 CHF3/ 70/ SEC-7440, line 3 O2/ 50/ SEC-7440, line 4 CF4/ 100/ SEC-7440, line 5 Ar/ 100/ SEC-7440, line 6 N2/ 70/ SEC-7440, line 7 none, line 8 none
Gas Scrubber type Ebara GTE-3-0XVT (missing)
Note the above information is for guidance only and was the tools original configuration. Changes to configuration might have been made
จำนวน: สอบถามความพร้อมใช้งาน
หมายเลขผลิตภัณฑ์: 9146
วันที่ผลิต: 1996
ที่ตั้ง: Nishiwaki, Japan
ดูตัวอย่างของการตรวจสอบอย่างละเอียด: By prior appointment
Related sales
No related event available
Information on This Event
Contact Details
ติดต่อ: Andy Hackett
โทรศัพท์: +44 (0)7764 308 689
ติดต่อ: Eric Zhang
โทรศัพท์: +86 21 62726246 801
โทรศัพท์ 2: +86 139 1795 6751
ติดต่อ: Yusuke Uchiyama
โทรศัพท์: +81 (0)904 422 9392
Change to English Change to English Changer en français Wechseln Sie zu Deutsch Cambia in italiano Cambiar a Español เปลี่ยนเป็นภาษาไทย 切換到中文 日本語に変更 한국어 변경
FooterLiquidity ServicesLiquidation.comLGov DealsLNetwork InternationalLGovernment LiquidationLTruck Center.com