ปิด xขอต้อนรับสู่ GoIndustry DoveBid. คลิกที่นี่เพื่อลงทะเบียนและดำเนินการต่อ >>

Mattson Technology Aspen 2 ICP Asher - SOLD LOT

การขายอสังหาริมทรัพย์ส่วนตัว
ยี่ห้อ และ รุ่น: Mattson Technology Aspen 2 ICP
ส่วนของการขาย บางส่วนของการขาย: 200mm Wafer Fabrication Tools
รายการที่: 217 | รหัสสินทรัพย์: smi82661 | ID สินค้าคงคลัง: EUAHASHC1
This item has been sold.
However, we may have more of these for sale.
Use advance search or browse our upcoming auction calendar to find alternatives. Or subscribe to alerts so we can keep you informed about similar items in the future.
คำอธิบาย: Tool code ASHC1 For configuration sheet Click HEREConfiguration:
CASS NEST PLASTIC 8"
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
SMIF Interface NO
Wafer size 200mm
Process Chamber
Chamber location Single Chamber(Rear )
Guide Ring Alum Guide Ring(No GRIDS)
Heater Block Standard(162-00001-00)
Manometer 10Torr
Vacuum Selection KF50
RF GENERATOR
Manufacturer RF Plasma Products
Type RF10S
Power MAX/1KW (Use/975W)
Gas Box
Gas Box Type Gas Box 2Lines
Air Operation Valve Fujikin Diaphragm Model No.FPr-UDDF-71-6.35-2-JSK-UP
Regurator Yutaka
M.F.C STEC SEC-7000Series
GAS 1 O2-10slm
GAS 2 CF4-500sccm
GAS 3 N/A
GAS 4 N/A
Electrical
Software QNX Ver.3.21
SECS SECS II
UPS N/A
Exhaust
Core frame Bottom
GAS BOX Bottom
Dry Pump
Load lock Ebara A10S
Reactor Ebara A150W-M

Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
จำนวน: สอบถามความพร้อมใช้งาน
หมายเลขผลิตภัณฑ์: 205
ที่ตั้ง: Nishiwaki, Japan
ดูตัวอย่างของการตรวจสอบอย่างละเอียด: By prior appointment
Related sales
No related event available
Information on This Event
Contact Details
ติดต่อ: Andy Hackett
โทรศัพท์: +44 (0)7764 308 689
ติดต่อ: Eric Zhang
โทรศัพท์: +86 21 62726246 801
โทรศัพท์ 2: +86 139 1795 6751
ติดต่อ: Yusuke Uchiyama
โทรศัพท์: +81 (0)904 422 9392
Change to English Change to English Changer en français Wechseln Sie zu Deutsch Cambia in italiano Cambiar a Español เปลี่ยนเป็นภาษาไทย 切換到中文 日本語に変更 한국어 변경
FooterLiquidity ServicesLiquidation.comLGov DealsLNetwork InternationalLGovernment LiquidationLTruck Center.com