ปิด xขอต้อนรับสู่ GoIndustry DoveBid. คลิกที่นี่เพื่อลงทะเบียนและดำเนินการต่อ >>

DNS WS820L Wet Bench / Low Pressure Dryer - SOLD LOT

การขายอสังหาริมทรัพย์ส่วนตัว
ยี่ห้อ และ รุ่น: DNS WS820L
ส่วนของการขาย บางส่วนของการขาย: 200mm Wafer Fabrication Tools
รายการที่: 218 | รหัสสินทรัพย์: smi82754 | ID สินค้าคงคลัง: EU313587
This item has been sold.
However, we may have more of these for sale.
Use advance search or browse our upcoming auction calendar to find alternatives. Or subscribe to alerts so we can keep you informed about similar items in the future.
คำอธิบาย: Tool code HODF7 For configuration sheet Click HEREHF/DIW/SC1/DIW/DIW/Low Pressure Dryer
Configuration :
CASSETTE : No Cassette less 50wf
Wafer Shape : SNNF (Semi Notch No Flat)
SMIF Interface : NO
Wafer size : 200mm
CLEAN UNIT : ULPA
robot : 4
Cassette stocker : Cassette transfer from loader to un loader
Process bath :
Loader : Wafer transfer, 5stock PP cassette, Chuck clean : DIW spray and N2 Dry, HF : PTFE / 25C with HF monitor, EDR : Quartz / Cold DIW with shower, SC1 : Quartz / Megasonic / 25C with SC1 monitor, QDR : Quartz / Cold DIW with shower, Final rinse : Quartz / Cold DIW with megasonic &resistivity, Dryer : PVC / Low Pressure Dryer ×2 with IPA monitor, Un-loader : Wafer transfer, 5stock PP cassette
Megasonic :
Manufacturer : Kaijo co., Type : 68101 (SC1), Power : 950kHz 600w x4 (SC1)
Chemical :
Chemical1 : NH4OH, Chemical2 : H2O2, Chemical3 : HF, Chemical4 : IPA, DIW : Hot and Cold
Electrical : Power : 100v 125A / 208v 125A / 100v 5A, SECS : SECS II, UPS : 100v 6kVA
Exhaust : ACID : 1, ALKALI : 1
Option :
Sensor : Horiba HF sensor CM-201, Sensor : Kurabo sensor KCM-21-UV, water sensor x2 : Kurabo water Sensor(RD300-IP), Ionizer : Loader, Notch aligner : Loader
Note the above information is for guidance only and was the tools original configuration. Changes to configuration might have been made
จำนวน: สอบถามความพร้อมใช้งาน
Dimensions: 6200mm(L) x 2500mm(D) x 2850mm(H)
หมายเลขผลิตภัณฑ์: 61520-2590
วันที่ผลิต: 2002
ที่ตั้ง: Nishiwaki, Japan
ดูตัวอย่างของการตรวจสอบอย่างละเอียด: By prior appointment
Related sales
No related event available
Information on This Event
Contact Details
ติดต่อ: Andy Hackett
โทรศัพท์: +44 (0)7764 308 689
ติดต่อ: Eric Zhang
โทรศัพท์: +86 21 62726246 801
โทรศัพท์ 2: +86 139 1795 6751
ติดต่อ: Yusuke Uchiyama
โทรศัพท์: +81 (0)904 422 9392
Change to English Change to English Changer en français Wechseln Sie zu Deutsch Cambia in italiano Cambiar a Español เปลี่ยนเป็นภาษาไทย 切換到中文 日本語に変更 한국어 변경
FooterLiquidity ServicesLiquidation.comLGov DealsLNetwork InternationalLGovernment LiquidationLTruck Center.com