ปิด xขอต้อนรับสู่ GoIndustry DoveBid. คลิกที่นี่เพื่อลงทะเบียนและดำเนินการต่อ >>

DNS WS820C Wet Bench / Vapour Dryer - SOLD LOT

การขายอสังหาริมทรัพย์ส่วนตัว
ยี่ห้อ และ รุ่น: DNS WS820C
ส่วนของการขาย บางส่วนของการขาย: 200mm Wafer Fabrication Tools
รายการที่: 238 | รหัสสินทรัพย์: smi82876 | ID สินค้าคงคลัง: EU313591
This item has been sold.
However, we may have more of these for sale.
Use advance search or browse our upcoming auction calendar to find alternatives. Or subscribe to alerts so we can keep you informed about similar items in the future.
คำอธิบาย: Tool code HODE2 For configuration sheet Click HEREHF/DIW/SC1/DIW/DIW/Vaper Dryer
Configuration :
CASSETTE : PFA 8" 50wf (KM-820)
Wafer Shape : SNNF (Semi Notch No Flat)
SMIF Interface : NO
Wafer size : 200mm
CLEAN UNIT : ULPA
robot : 5
Process bath : Loader : Wafer transfer, 4stock PFA cassette, Chuck clean : DIW spray and N2 Dry, HF : PTFE / 25C with HF monitor, EDR : Quartz / Cold DIW with shower, SC1 : Quartz / Megasonic / 40C, QDR : Quartz / Cold DIW with shower, Final rinse : Quartz / Cold DIW with resistivity, Dryer : Quartz / Vapor Dryer, Un-loader : Wafer transfer, 4stock PFA cassette
Megasonic : Manufacturer : Kaijo co., Type : Quava(70110)/ Indirect(SC1), Power : 950kHz 1200w(SC1)
Chemical : Chemical1 : NH4OH, Chemical2 : H2O2, Chemical3 : HF, Chemical4 : IPA, DIW : Hot and Cold
Electrical : Power : 100v 150A / 200v 115A, SECS : SECS II, UPS : 100v 6kVA
Exhaust : ACID : 1, ALKALI : 1, SOLVENT : 1
Option : Sensor : Horiba HF sensor CM-201, Notch aligner : Loader, Ionizer : Loader, WF rotation : Back to Back wafer transfer (even slot rotation) load/unload
Note the above information is for guidance only and was the tools original configuration. Changes to configuration might have been made
จำนวน: สอบถามความพร้อมใช้งาน
Dimensions: 7670mm(W) x 2380mm(D) x 2800mm(H)
หมายเลขผลิตภัณฑ์: 55520-2107
วันที่ผลิต: 1996
ที่ตั้ง: Nishiwaki, Japan
ดูตัวอย่างของการตรวจสอบอย่างละเอียด: By prior appointment
Related sales
No related event available
Information on This Event
Contact Details
ติดต่อ: Andy Hackett
โทรศัพท์: +44 (0)7764 308 689
ติดต่อ: Eric Zhang
โทรศัพท์: +86 21 62726246 801
โทรศัพท์ 2: +86 139 1795 6751
ติดต่อ: Yusuke Uchiyama
โทรศัพท์: +81 (0)904 422 9392
Change to English Change to English Changer en français Wechseln Sie zu Deutsch Cambia in italiano Cambiar a Español เปลี่ยนเป็นภาษาไทย 切換到中文 日本語に変更 한국어 변경
FooterLiquidity ServicesLiquidation.comLGov DealsLNetwork InternationalLGovernment LiquidationLTruck Center.com