ปิด xขอต้อนรับสู่ GoIndustry DoveBid. คลิกที่นี่เพื่อลงทะเบียนและดำเนินการต่อ >>

TEL Clean Track MARK8 Developer - SOLD LOT

การขายอสังหาริมทรัพย์ส่วนตัว
ยี่ห้อ และ รุ่น: TEL Clean Track MARK8
ส่วนของการขาย บางส่วนของการขาย: 200mm Wafer Fabrication Tools
รายการที่: 48 | รหัสสินทรัพย์: smi82732 | ID สินค้าคงคลัง: EU313828
This item has been sold.
However, we may have more of these for sale.
Use advance search or browse our upcoming auction calendar to find alternatives. Or subscribe to alerts so we can keep you informed about similar items in the future.
คำอธิบาย: Tool code PAT22 For configuration sheet Click HEREConfiguration
Process Developer
WAFER SPECIFICATION
Wafer Size 200MM
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8” PP Miraial
SYSTEM CONFIGURATION
Process Block 2
Coater head# 2
Develop head# 2
Adhesion Chamber# 1
Hot Plate# 7
DHP (High Temp) 2
Cooling Plate# 7
WDS(Cup wash disc) 1
WEE# 1
IFB 1
Chemical Box (HMDS/Solvent) 1
Cup T&H Control No
Carrier Station Stage 1×4 Side Loading (Sender /Receiver or Uni - cassette)
Coater
Nozzle# 4
Resist temperature Control Single
Coater Cup PP with Mist trap
Spin chuck PEEK
Resist Pump RRC Pump
Back rinse Flow meter Max range 150cc/min with flow sensor
Solvent Bath Flow meter Max range 50cc/min
EBR Flow meter Max range 20cc/min
Drain Central
Motor Flange temp control 1
Solvent Supply Central supply
Developer
Nozzle E Square Nozzle
Nozzle# 2
Develop solution supply Central supply
Developer Cup PRP-P + PPS with Mist trap
Spin chuck PEEK
E Square Nozzle Flow meter Max range 1.2l/min with flow sensor
Rinse Nozzle Flow meter Max range 1.2l/min with flow sensor
Back Rinse Flow meter Max range 150cc/min
Develop temperature control 15-50deg by 0.1deg pitch
Drain Central
Motor Flange temp control 1
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
จำนวน: สอบถามความพร้อมใช้งาน
หมายเลขผลิตภัณฑ์: MD-826670
วันที่ผลิต: 1996
ที่ตั้ง: Nishiwaki, Japan
ดูตัวอย่างของการตรวจสอบอย่างละเอียด: By prior appointment
Related sales
No related event available
Information on This Event
Contact Details
ติดต่อ: Andy Hackett
โทรศัพท์: +44 (0)7764 308 689
ติดต่อ: Eric Zhang
โทรศัพท์: +86 21 62726246 801
โทรศัพท์ 2: +86 139 1795 6751
ติดต่อ: Yusuke Uchiyama
โทรศัพท์: +81 (0)904 422 9392
Change to English Change to English Changer en français Wechseln Sie zu Deutsch Cambia in italiano Cambiar a Español เปลี่ยนเป็นภาษาไทย 切換到中文 日本語に変更 한국어 변경
FooterLiquidity ServicesLiquidation.comLGov DealsLNetwork InternationalLGovernment LiquidationLTruck Center.com