ปิด xขอต้อนรับสู่ GoIndustry DoveBid. คลิกที่นี่เพื่อลงทะเบียนและดำเนินการต่อ >>

Lam Research 2300 Exelan 4 Chamber Dielectric Wafer Etch Tool - SOLD LOT

การขายอสังหาริมทรัพย์ส่วนตัว
ยี่ห้อ และ รุ่น: Lam Research 2300 Exelan
ส่วนของการขาย บางส่วนของการขาย: 200mm Wafer Fabrication Tools
รายการที่: 5 | รหัสสินทรัพย์: smi82884 | ID สินค้าคงคลัง: EU313758
This item has been sold.
However, we may have more of these for sale.
Use advance search or browse our upcoming auction calendar to find alternatives. Or subscribe to alerts so we can keep you informed about similar items in the future.
คำอธิบาย: Tool code OXDH2 For configuration sheet Click HEREConfiguration
CASS NEST PLASTIC 8"
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
SMIF Interface NO
Wafer size 200mm
System Information
process chamber qty 4
SECS/ GEM yes
Platfrom type Version 2
2300 Exelan Options
Chamber Type 2300 Exelan CFE
Upper Electrode Heated
ESC Cooling Dual Zone
200MM Turbo Pump 1600 L/s Edwards
Endpoint Detection Optical Emission Spectroscopy
Chamber Isolation Valve Rocker Gate Valve
2300 Gas Box
Gas System Type Enhanced Gas Box II
Std Stacking Kits 4 PM Stacking Kit
Gas Line 12 Gas Configuration
Gas Box Inlet Option Regulated Inlet Gas Panel
Gas Filters Standard Filter
2300 Platform
Front End Load Port Cassette 3 Open Cassette
Backing Pumps for TM iPX
User Interface Options Side and Front Monitor UI
System UPS Circuitry System UPS Circuitry required
Earth Leakage Breaker ELB
Signal Tower R-O-G-B Signal Tower
Dry pumps
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
Gas scrubber
Model EBARA GTE-3-0WVT
Note the above information is for guidance only. Changes to configuration might have been made
จำนวน: สอบถามความพร้อมใช้งาน
น้ำหนัก: 1
หมายเลขผลิตภัณฑ์: 1001862-04-41-06530
วันที่ผลิต: 2004
ที่ตั้ง: Nishiwaki, Japan
ดูตัวอย่างของการตรวจสอบอย่างละเอียด: By prior appointment
Related sales
No related event available
Information on This Event
Contact Details
ติดต่อ: Andy Hackett
โทรศัพท์: +44 (0)7764 308 689
ติดต่อ: Eric Zhang
โทรศัพท์: +86 21 62726246 801
โทรศัพท์ 2: +86 139 1795 6751
ติดต่อ: Yusuke Uchiyama
โทรศัพท์: +81 (0)904 422 9392
Change to English Change to English Changer en français Wechseln Sie zu Deutsch Cambia in italiano Cambiar a Español เปลี่ยนเป็นภาษาไทย 切換到中文 日本語に変更 한국어 변경
FooterLiquidity ServicesLiquidation.comLGov DealsLNetwork InternationalLGovernment LiquidationLTruck Center.com